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等離子清洗機

簡要描述:等離子清洗機
1、采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控。
2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學品消耗。
4、可處理形狀復雜的材料,材料表面處理的均勻性好。
5、適用性廣,各種材料、形狀都可以處理。

  • 所在城市:無錫市
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新日期:2025-02-11
  • 訪  問  量:4604

詳細介紹

品牌LEBO/雷博產地類別國產
應用領域能源,電子,綜合

設備的優(yōu)點:

1、采用射頻電源、自動匹配器,一鍵式操控。

2、低溫等離子體,能量低、密度高,適合處理特殊材料。

3、無環(huán)境污染、無化學品消耗。

4、可處理形狀復雜和微細結構的材料。


設備的參數:

腔體材質 :鋁合金

供電電源 : AC220V、1000W

濺射電壓:MAX 2500V

濺射電流:MAX 30mA

靶材尺寸:直徑57mm,厚度0.1~0.5mm

射頻電源功率: 0-300W可調

射頻頻率: 13.56MHz

真空度:≤100Pa

氣體路數:2路

氣體流量:MFC氣體質量流量計   500SCCM(可調)

控制: 觸屏

清洗時間:1-6000s連續(xù)可調

處理尺寸:≤8寸

內腔尺寸:226mm(長)*126mm(高)*224mm(深)

外形尺寸: 620mm*560mm*410mm(寬*深*高)

重量:≈38KG

真空泵:飛越ARV-4





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  • 聯(lián)系人:陸燕
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